Si衬底上Ge薄膜的制备过程（低温-高温两步法工艺介绍）

产品名称：Si衬底上Ge薄膜的制备过程（低温-高温两步法工艺介绍）

产品描述：

Si衬底上Ge薄膜的制备过程（低温-高温两步法工艺介绍） 西安齐岳生物科技有限公司提供或者国产的薄膜，尺寸可定制；基底以及外延的薄膜；品质高。同时提供二维材料；石墨烯、氮化硼、二硫化钼、CVD生长的薄膜、晶体、异质结、薄膜（蓝宝石、PET、铜膜、石英、云母、银膜、SOI基底、Si玻璃基底）等材料。 Si衬底上Ge薄膜制备过程中,利用二者之间的热失配,可在Ge薄膜层中引入张应力.张应力改性作用下,Ge能带结构由间接带隙类型转化为准直接带隙或直接带隙类型,将其应用于光子器件,可器件的发光效率;同时,张应变改性Ge相较于Ge半导体,载流子迁移率更高,还可将其应用于电子器件.Si基改性Ge薄膜不具有的光电性质,还兼具Si衬底的特点,具有应用潜力.然而,由于Si与Ge之间存在4.2%的晶格失配,直接在Si衬底上生长改性Ge薄膜将会产生较大的缺陷,从而影响改性Ge光电器件的性能.因此,如何在Si衬底上生长的改性Ge薄膜已成为领域内研究的热点和.为此,搭建了Si基改性Ge薄膜RPCVD生长系统,为Si基改性Ge薄膜的生长奠定了的物质基础.基于RPCVD碰撞与吸附理论,进一步建立了Si基改性Ge薄膜的生长动力学模型,为制定Si基改性Ge薄膜RPCVD工艺制度提供了理论依据.针对Si基改性Ge薄膜位错密度与应力表征方面存在的问题,提出了适用于改性Ge的位错密度表征方法,建立了拉曼谱与应力的理论关系模型,完善了相关表征.通过以上研究,为的Si基改性Ge薄膜的生长奠定了的基础.基于所搭建RPCVD薄膜生长系统,采用低温-高温两步法工艺,在Si衬底上生长了改性Ge薄膜. ? 相关产品： 硅片上的金刚石氮化铝薄膜 Si上镀Al薄膜（Aluminum Film on Silicon Wafer） Si-Al复合薄膜 Si片外延AIN薄膜 (Si+AlN dia4")： Si衬底上AlN外延薄膜 Si+SiO2+Cr+Au薄膜： (Au,Si)/SiO2复合纳米颗粒薄膜 Si/SiO2/Cr/Au复合薄膜 AL2O3+Al(0.1)Ga(0.9)N 薄膜 Al2O3+Al0.1GaN0.9薄膜N型不掺杂 Nb：SrTiO3+Ba1-xSrxTiO3薄膜 Ba1-xTiO3型薄膜? 400nm 掺铌SrTiO3基片 400nm单面抛光薄膜 Nb: SrTiO3+BiFeO3薄膜 Nb: SrTiO3+BiFeO3薄膜 10x10 x 0.5 mm SrTiO3衬底上BiFeO3薄膜 Nb∶SrTiO3单晶基片上外延生长BaTiO3薄膜 Fe3O4/BiFeO3复合薄膜 Si+SiO2+Ta+Cu薄膜 Si/SiO2/Ta/Cu薄膜 Cu/Ta/SiO2/Si薄膜 Si衬底上Ta-N/Cu薄膜 Si+SiO2+Ti+Au薄膜 Si/SiO2/Cr/Au/Ti 衬底薄膜 镀金硅片镀铂硅片ptPt/Ti/SiO2/Si Si+GaN薄膜： 别称：Si 晶圆外延 Gan 薄膜 (si + Gan 薄膜) Si衬底上GaN薄膜 Si基GaN薄膜 Si+Cu薄膜: 多孔Si/Cu复合薄膜 Si上镀Cu薄膜 Si基上电沉积Cu薄膜 YSZ+CeO2薄膜 30-50nm CeO2/YSZ复合薄膜 30-50nm CeO2/YSZ薄膜 Si+BN薄膜 Si/BN硅基氮化硼薄膜 单层氮化硼薄膜Si基底 CAS号7440-42-8 Si掺杂的c-BN薄膜 Si上的Cu外延膜 SiBN复合薄膜 FTO膜 Glass+FTO薄膜 玻璃板上涂氟氧化锡（FTO） 锗(GOI)薄膜 体上锗(GOI)薄膜 薄Si过渡层制备体上Ge(GOI)材料 GaAs+AlGaAs+GaAs薄膜 GaAs （半）（100）晶向基片上的GaAs GaAs / AlGaAs薄膜 GaAs/AlGaAs/GaAs薄膜 GaAs/AIGaAs压阻薄膜 GaN系列薄膜 氮化镓GaN/蓝宝石复合衬底上蒸镀金属镍(Ni)薄膜 GaN 薄膜基片 GaN外延薄膜 Ga2O3-?膜 AL2O3+Ga2O3-?薄膜 Ga2O3-?晶体 2英寸?- Ga2O3单晶衬底 Ga2O3-Al膜 Si上镀Ge薄膜0.5-2um 生长Si—Ge薄膜10x10mm Si基改性Ge薄膜 硅基底石墨烯膜1cm*1cm 硅基底石墨烯膜5cm*5cm 双层石墨烯膜2cm*2cm 康宁7980玻璃上镀ITO膜10x10x0.7mm 康宁7980上镀ito膜(ito film on corning 7980) InP上镀InAlAs薄膜? 掺Fe半型材料 300nm 在InP衬底上生长InAlAs/InGaAs等异质结构 InP衬底上InAlAs薄膜 InP衬底上生长InAlAs薄膜 InAlAs-InGaAs-InP InP上镀InGaAs薄膜 半型材料 GaAs InGaP薄膜 GaAs衬底InGaP薄膜 金属衬底InGaP/GaAs双结薄膜 InGaP/GaAs/InGaAs三结薄膜 InGaP/GaAs微结构材料 GaAs衬底成功制备了InGaP外延薄膜 InGaP/GaAs异质结 ITO+ZnO钠钙玻璃 ITO/ZnO复合材料 纳米ZnO/ITO导电玻璃复合材料 ITO= 100nm，ZnO= 50nm ITO导电玻璃衬底上沉积出透明致密ZnO薄膜 La0.7Sr0.3MnO3 + Pb0.19Zr0.2Ti0.8O3复合材料 La0.7Sr0.3MnO3 + PbZr(x)Ti(1-x)O3复合材料 SrMoO4薄膜 SrMoO4薄膜（400nm）光致发光薄膜 SiO2+Pt 薄膜 SiO2∶Pt薄膜 二氧化硅/铂复合薄膜SiO2/Pt 二氧化硅负载铂复合薄膜催化材料 Si+SiO2+Ti+Pt薄膜 Pt/Ti/SiO2/Si基片镀PZT膜 Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜 Pt/Ti/Si3N4/SiO2/Si基底的多层薄膜 钙钛矿型稀土复合氧化物LaFeO3膜 钙钛矿型铁酸镧LaFeO3薄膜 Ni衬底上的LaFeO3薄膜 LaFeO3纳米晶薄膜 LaNiO3导电薄膜 Si基底LaNiO3导电薄膜10x10x0.5mm Si基LaNiO3导电薄膜 Si/LaNiO3 Si(111)衬底上沉积LaNiO3薄膜 La1-XSrXMnO3薄膜 La1-XSrXMnO3薄膜10x10x0.5mm LaAlO3 或者 SrTiO3衬底La1-XSrXMnO3薄膜 SrTiO3(100)上La1-xSrxMnO3薄膜 Si衬底上外延生长La1-xSrxMnO3单晶薄膜 玻璃基底上La1-xSrxMnO3纳米薄膜 La1-xSrxTiO3薄膜 LaAlO3衬底La1-xSrxTiO3薄膜 La1-xSrxTiO3+δ陶瓷涂层 La2Zr2O7薄膜 La2Zr2O7/LaAlO3复合薄膜 LaAlO3单晶或Ni（NiW)双轴织构基板 LaAlO3单晶衬底La2Zr2O7薄膜 Ni衬底La2Zr2O7薄膜 高温导涂层导体La2Zr2O7缓冲层薄膜 玻璃上镀Mo 玻璃上镀Mo (Mo-coated Sodalime glass ) CVD MoS2薄膜 衬底：Si/SiO2 尺寸：1*1cm、1*5cm、5*5cm、5*10cm 可以做CVD MoS2, BN，WSe2薄膜等 Si镀Ni薄膜 Si纳米线表面Ni薄膜 P型Si(100)化学镀NiP薄膜 Si片上镀Ni薄膜 Si/Ni基复合薄膜材料 Si+Si3N4薄膜 PE-CVD制备Si/Si3N4薄膜 Si3N4/Si多层红外干涉滤波薄膜 SiO2,α—Si,Si3N4薄膜 CVD-Si3N4薄膜 Si3N4/FePd/Si3N4薄膜 Si基Si3N4/SiO2双层驻极体薄膜 Al2O3+Si薄膜(SOS)料 Al2O3上镀Si薄膜 γ-Al2O3/Si硅基外延薄膜 γ-Al2O3/Si异质结构薄膜 Si/Al2O3/Si薄膜 Si+SiO2+Si(SOI基片) Si/SiO2/Si复合材料 Si/SiO2/p-Si结构材料 Pt/Ti/SiO2/Si? Au/Cr/Si基片 Pt/Ti/SiO2/Si基片 Au/Cr/Si基片 4H-SiC上镀4H-SiC薄膜P型 4H-SiC上镀4H-SiC薄膜P型（4H-SiC Epitaxial Film on 4H-SiC, P type) p型4H-SiC单晶 4H-SiC同质外延薄膜 4H-SiC材料p型掺杂材料 SiC 3C薄膜 PECVD生长3C结构SiC外延薄膜 3C-SiC（100）薄膜 Si+SiO2薄膜 Si/SiO2薄膜 Si衬底SiO2薄膜 Si/SiO2/Ta/Cu薄膜 常规厚度300nmSiO2 LaAlO3+SrTiO3薄膜 LaAlO3/SrTiO3钙钛矿结构氧化物薄膜 SrTiO3/LaAlO3/SrTiO3(001)异质结 SrTiO3(001)衬底上外延制备10晶胞层厚度的LaAlO3薄膜 Al2O3+YBCO薄膜10x10x0.5 mm Al2O3+YBCO薄膜10x5x0.5 mm Al2O3+YBCO薄膜3" dia.x0.5 mm Al2O3/YBCO功能外延薄膜 YBCO/CeO2/Al2O3双面导外延薄膜 YIG单晶外延薄膜GGG衬底 钇铁石榴石YIG外延薄膜GGG衬底 钇铁石榴石（Yttrium Iron Garnet）在GGG衬底外延薄膜 Al2O3+ZnO薄膜 Al2O3/ZnO薄膜 CVD生長ZnO/GaN/Al2O3薄膜 Al2O3衬底上外延生长ZnO薄膜 SrRuO3薄膜 SrTiO3基底SrRuO3薄膜50nm SrTiO3衬底上生长SrRuO3薄膜 SrRuO3/SrTiO3人工薄膜 SrRuO3/SrTiO3薄膜 TiO2薄膜 钠钙玻璃基底TiO2薄膜 二氧化钛(TiO2)薄膜(钠钙玻璃基底) ZnO/Au纳米复合物 ZnO +Au+Cr ZnO/Au/Cr复合薄膜 ZnO/Au/ZnO多层膜 ZnO+SiO2薄膜 熔融石英基底ZnO/SiO2薄膜 ZnO/SiO2复合薄膜 SiO2/Si衬备ZnO薄膜 Ge/ZnO/SiO2薄膜 ZnO+钠钙玻璃 钠钙玻璃基底ZnO薄膜 ZnS/CuInS/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜 ZnO+Pt+Ti Ti/Pt/ZnO复合薄膜 Ti/ZnO/Pt 复合薄膜 Pt/Ti/ZnO复合薄膜 Pt/Ti/SiO2/Si基片 以上资料来自西安齐岳生物小编 温馨提示用于科研 zhn2020.12.14 相关目录： 溶胶凝胶法制备Sm掺杂铁酸铋（001）外 油酸修饰四氧化三铁OA@Fe3O4磁性纳米颗

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